Пропускная способность и сопротивление вакуумной системы

 

Течение газа по трубопроводу означает, что на газ, молекулы которого находятся в хаотическом тепловом движении, действует сила, обусловленная перепадом давлений P1 и р2 на концах трубопровода. Объем газа, протекающего по трубопроводу в единицу времени, пропорционален разности р2 — P1. По аналогии с электрической цепью B1 вакуумной технике введено понятие сопротивления течению W. Под сопротивлением понимается отношение перепада давлений в рассматриваемом участке вакуумной системы к потоку газа, проходящему через этот участок:


(18)

Пропускная способность или проводимость L есть величина, обратная сопротивлению:

Подсчет сопротивления и пропускной способности системы при последовательном и параллельном соединении трубопроводов по аналогии с электрической цепью производится по формулам:


где W1, W2J W3 — сопротивления отдельных трубопроводов; ^„осл и Wnap — общее сопротивление системы соответственно при последовательном и параллельном соединении; L1, L2, L3 — пропускная способность отдельных трубопроводов; Ьпосл и Lnap — общая пропускная способность системы соответственно при последовательном и параллельном соединении.

Сопротивление системы зависит от геометрических размеров трубопровода и от режима течения газа. При вязкостном режиме определяющим фактором для сопротивления является внутреннее трение газа; при переходе к молекулярному режиму роль внутреннего трения постепенно снижается, а определяющим становится число соударений молекул газа со стенками трубопровода.